ערכת אוויר חוזרת משנית עבור מערכת מיזוג אוויר

הסדנה המיקרו-אלקטרונית עם שטח חדר נקי קטן יחסית ורדיוס מוגבל של תעלת אוויר חוזר משמשת לאימוץ תכנית האוויר החוזר המשני של מערכת מיזוג האוויר. תוכנית זו משמשת בדרך כלל גם בחדרים נקייםבתעשיות אחרות כמו תרופות וטיפול רפואי. מכיוון שנפח האוורור כדי לעמוד בדרישות הלחות בטמפרטורת החדר הנקי הוא בדרך כלל הרבה פחות מנפח האוורור הנדרש כדי להגיע לרמת הניקיון, לכן, הפרש הטמפרטורות בין אוויר האספקה ​​לאוויר החוזר קטן. אם נעשה שימוש בסכימת האוויר החוזר הראשי, הפרש הטמפרטורות בין נקודת מצב האוויר האספקה ​​לנקודת הטל של יחידת המיזוג גדול, יש צורך בחימום משני, וכתוצאה מכך לקיזוז החום הקר בתהליך הטיפול באוויר וצריכת אנרגיה רבה יותר. . אם נעשה שימוש בסכימת האוויר החוזר המשני, ניתן להשתמש באוויר החוזר המשני כדי להחליף את החימום המשני של ערכת האוויר החוזר הראשי. למרות שההתאמה של יחס האוויר החוזר הראשי והמשני מעט פחות רגיש מהתאמת החום המשני, ערכת האוויר החוזר המשני זכתה להכרה נרחבת כאמצעי לחיסכון באנרגיה של מיזוג אוויר בבתי מלאכה קטנים ובינוניים לניקוי מיקרו-אלקטרוני .

קחו לדוגמה סדנת ניקוי מיקרואלקטרוניקה ISO class 6, שטח הסדנה הנקי של 1,000 מ"ר, גובה התקרה של 3 מ'. פרמטרים של עיצוב פנים הם טמפרטורה tn= (23±1) ℃, לחות יחסית φn=50%±5%; נפח אספקת האוויר המתוכנן הוא 171,000 מ"ק לשעה, כ-57 זמני החלפת אוויר שעה-1, ונפח האוויר הצח הוא 25,500 מ"ק לשעה (מתוכם נפח האוויר הפליטה בתהליך הוא 21,000 מ"ק לשעה, והשאר הוא נפח אוויר דליפת לחץ חיובי). עומס החום ההגיוני בבית המלאכה הנקי הוא 258 קילוואט (258 ואט/מ"ר), יחס החום/לחות של המזגן הוא ε=35,000 קילו-ג'יי/ק"ג, והפרש הטמפרטורות של האוויר החוזר בחדר הוא 4.5 ℃. בשלב זה, נפח האוויר החוזר הראשי של
זוהי כיום הצורה הנפוצה ביותר של מערכת מיזוג אוויר טיהור בתעשיית המיקרו-אלקטרוניקה בחדר נקי, ניתן לחלק מערכת מסוג זה בעיקר לשלושה סוגים: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (סליל יבש) +FFU. לכל אחד יש יתרונות וחסרונות ומקומות מתאימים, אפקט החיסכון באנרגיה תלוי בעיקר בביצועי המסנן והמאוורר וציוד אחר.

1) מערכת AHU+FFU.

סוג זה של מצב מערכת משמש בתעשיית המיקרו-אלקטרוניקה כ"דרך להפריד בין מיזוג האוויר לבין שלב הטיהור". ייתכנו שני מצבים: האחד הוא שמערכת המיזוג עוסקת רק באוויר צח, והאוויר הצח המטופל נושא את כל עומס החום והלחות של החדר הנקי ומשמש כתוספת אוויר לאיזון אוויר הפליטה וזליגת לחץ חיובי. מהחדר הנקי, מערכת זו נקראת גם מערכת MAU+FFU; השני הוא שנפח האוויר הצח לבדו אינו מספיק כדי לענות על צורכי עומס הקור והחום של החדר הנקי, או בגלל שהאוויר הצח מעובד מהמצב החיצוני עד להפרש האנתלפיה הספציפית של המכונה הנדרשת לנקודת הטל. , וחלק מהאוויר הפנימי (שווה ערך לאוויר חוזר) מוחזר ליחידת הטיפול במיזוג האוויר, מעורבב עם האוויר הצח לטיפול בחום ולחות, ולאחר מכן נשלח למליאת אספקת האוויר. מעורבב עם האוויר החוזר הנקי שנותר (שווה ערך לאוויר חוזר משני), הוא נכנס ליחידת ה-FFU ואז שולח אותו לחדר הנקי. משנת 1992 עד 1994, המחבר השני של מאמר זה שיתף פעולה עם חברה סינגפורית והוביל יותר מ-10 סטודנטים לתארים מתקדמים להשתתף בתכנון המיזם המשותף של ארה"ב-הונג קונג SAE Electronics Factory, שאימץ את הסוג האחרון של מיזוג אוויר לטיהור. מערכת אוורור. לפרויקט יש חדר נקי מסוג ISO Class 5 של כ-6,000 מ"ר (מתוכם 1,500 מ"ר התקשרה על ידי סוכנות האטמוספירה היפנית). חדר המיזוג מסודר במקביל לצד החדר הנקי לאורך הקיר החיצוני, ורק בצמוד למסדרון. צינורות האוויר הצח, הפליטה והאוויר החוזר קצרים ומסודרים בצורה חלקה.

2) סכימת MAU+AHU+FFU.

פתרון זה נמצא בדרך כלל במפעלי מיקרו-אלקטרוניקה עם דרישות טמפרטורה ולחות מרובות והבדלים גדולים בעומס חום ולחות, וגם רמת הניקיון גבוהה. בקיץ, האוויר הצח מקורר ומסיר לחות לנקודת פרמטר קבועה. בדרך כלל מתאים לטפל באוויר הצח עד לנקודת החיתוך של קו האנתלפיה האיזומטרי וקו 95% הלחות היחסית של החדר הנקי עם טמפרטורה ולחות מייצגים או החדר הנקי בעל נפח האוויר הצח הגדול ביותר. נפח האוויר של MAU נקבע על פי הצרכים של כל חדר נקי לחידוש האוויר, ומופץ ל-AHU של כל חדר נקי עם צינורות לפי נפח האוויר הצח הנדרש, ומעורבב עם קצת אוויר חוזר פנימי לחום וטיפול בלחות. יחידה זו נושאת את כל עומס החום והלחות וחלק מעומס השיגרון החדש של החדר הנקי אותו היא משרתת. האוויר שטופל על ידי כל AHU נשלח למליאת אוויר האספקה ​​בכל חדר נקי, ולאחר ערבוב משני עם האוויר החוזר הפנימי, הוא נשלח לחדר על ידי יחידת FFU.

היתרון העיקרי של פתרון MAU+AHU+FFU הוא שבנוסף להבטחת ניקיון ולחץ חיובי, הוא גם מבטיח את הטמפרטורות השונות והלחות היחסית הנדרשים לייצור של כל תהליך של חדר נקי. עם זאת, לעתים קרובות, בגלל מספר ה-AHU שהוגדרו, התפוסה שטח החדר גדול, החדר הנקי אוויר צח, אוויר חוזר, צינורות אספקת אוויר משתלבים, תופסים שטח גדול, הפריסה בעייתית יותר, תחזוקה וניהול קשים יותר. ומורכב, לכן, אין דרישות מיוחדות ככל האפשר כדי למנוע את השימוש.